Инновационная разработка Shanghai Microcre Optics-Mech Tech: высокоточный призменный куплер для точного решения задач измерения оптики тонких плёнок

Технология фотонной интеграции — ключ к продолжению действия закона Мура: показатель преломления, толщина и потери тонкоплёночных оптических волноводов напрямую определяют характеристики и выход годных фотонных чипов. Высокоточный призменный куплер Shanghai Microcre, основанный на принципах полного внутреннего отражения и эванесцентной связи, точно измеряет оптические параметры тонких плёнок и подходит для НИОКР фотонных чипов, технологического мониторинга и контроля качества.

Технологический прорыв

Признанный принцип: на основе ослабленного полного внутреннего отражения (ATR) и оптического туннельного эффекта путём сканирования резонансного угла определяется эффективный показатель преломления волновода — общепризнанный в отрасли «золотой стандарт» измерения оптических параметров тонких плёнок, позволяющий характеризовать одно- и многослойные плёнки на различных пластинах и подложках.

Высочайшая точность: высокоточный аэростатический поворотный стол и замкнутая система управления обеспечивают угловое разрешение 0,001° и повторяемость позиционирования лучше ±0,002°, позволяя надёжно регистрировать слабые резонансные провалы; точность измерения показателя преломления ±0,001, точность измерения толщины тонкой плёнки — до ±1 нм (в зависимости от типа и толщины плёнки), что соответствует передовому мировому уровню.

Собственная разработка: аппаратная часть, система управления и ключевые расчётные алгоритмы разработаны самостоятельно; сформирована полная технологическая цепочка от теоретического моделирования и оптимизации до экспериментальной проверки. Поддерживаются заказные функциональные обновления и локальная обработка данных, что обеспечивает безопасность исследовательских данных и независимость процесса измерений.

Широкие рыночные перспективы

Кремниевая фотоника, лидары и высокоскоростная оптическая связь стремительно развиваются, а спрос на оперативный мониторинг оптических параметров тонких плёнок и замкнутое технологическое управление неуклонно растёт. Прибор охватывает потребности высокоточных измерений на всём цикле — от НИОКР и опытного производства до серийного выпуска, — обеспечивая выход годной продукции и единообразие характеристик; модульная конструкция позволяет применять его также в прецизионном контроле в полупроводниковой отрасли, производстве дисплеев и оптических покрытий. Это ключевое оборудование для технологического прорыва в отечественной высококлассной оптоэлектронике и ускорения серийного производства.